疫后首展！江苏宏伟石英携半导体石英新品亮相 SEMICON 2020
发布日期：2020-06-30 00:00 来源：http://www.hongweishiying.com 点击：
2020 年 6 月 29 日，上海 —— 作为上海疫情后复展的首个国际级半导体专业展会，为期四天的 SEMICON China 2020 在上海新国际博览中心落下帷幕。本次展会以 “防疫为先、产业链协同复苏” 为核心，通过实名制登记、随申码核验、1 米社交距离管控等九重防疫措施保障安全，吸引全球超 800 家企业参展。江苏宏伟石英科技有限公司（下称 “宏伟石英”）携半导体级石英核心制品亮相 N2 馆材料展区，其突破国外垄断的高端产品及智能化生产成果，成为展会焦点。
- 8 英寸半导体级扩散炉管：历经 16 个月研发的核心产品，采用高纯度天然石英原料（纯度达 99.99%），通过新工艺实现耐温性突破 —— 长期使用温度稳定在 1150℃，瞬时耐温可达 1300℃，且管体圆度误差≤±0.5mm、壁厚均匀度偏差＜3%，完美适配 8 英寸晶圆扩散工艺的气密性与热稳定性要求。依托 2020 年新完成的 1200 万元技改项目，该产品年产规模突破 2000 支，打破日韩厂商在中高端扩散炉管领域的垄断，交付周期较进口产品缩短 50%。
- 8 英寸工艺石英套件：涵盖石英舟、石英盖板、导流管、定位环等 12 类核心部件，采用五轴联动精密加工技术，关键尺寸公差控制在 ±0.03mm 内，表面粗糙度 Ra≤0.4μm。其中石英舟采用一体成型工艺，避免拼接缝隙导致的晶圆污染风险，经中芯国际、华虹半导体验证测试，其使用寿命较传统拼接式石英舟延长 40%，且适配离子注入、薄膜沉积等多道 8 英寸晶圆制程工序。
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“疫情加剧了半导体供应链的不确定性，国内 8 英寸产线扩产急需稳定的国产石英材料支撑。” 公司研发总监在展位接受采访时表示，“我们的 8 英寸扩散炉管与工艺套件，在耐温性、精度等关键指标上已追平进口产品，价格却低 15%-25%，还能保障 48 小时内应急供货。”防疫与展示双线并行的参展创新：为契合展会防疫要求，宏伟石英打造 “无接触参展方案”：展位设置智能样品展示柜，观众扫码即可查看 8 英寸扩散炉管剖面结构、工艺套件装配动画及第三方检测报告；洽谈区采用隔位咨询台，配备消毒凝胶与一次性防护手套；同步开启 “云端展厅”，通过 4K 直播演示工艺石英套件在晶圆生产中的实际应用场景，吸引线上观众超 2 万人次。意向订单锁定国内核心产业链：借助展会 “线下体验 + 线上签约” 模式，宏伟石英现场接待客户 600 余人次，达成意向合作 28 项，其中与长江存储、长电科技等国内头部企业签订的 8 英寸扩散炉管、工艺石英套件采购意向，金额超 1.2 亿元。值得关注的是，针对疫情下海外石英材料交付延迟的现状，公司与三家 8 英寸晶圆设备厂商签订年度独家供货协议，预计 2020 年 8 英寸相关石英制品国内市场占比将提升至 60%。
“疫后首展让我们看到了国内半导体产业的韧性，尤其是 8 英寸产线的扩产需求远超预期。”
公司总经理表示，“下半年将启动三期智能化工厂建设，重点扩大 8 英寸扩散炉管（目标年产能 5000 支）、工艺石英套件（目标年产能 3 万套）的生产规模，助力国内半导体产业链自主可控。”
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